美国重重包围下，国产半导体设备替代之路还有多远？

2019年12月30日，盛美半导体上海临港研发及生产中心项目正式启动。盛美半导体设备（上海）股份有限公司是晶圆湿法清洗设备供应商，盛美半导体设备研发及制造中心项目总投资8.8亿元，预计于2020年开工，2023年竣工，开始试生产。2026年，项目将达产130台，销售额24亿元。

芯源微：于2002年创立，芯源微是国内涂胶显影设备龙头企业，主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，主要产品有涂胶显影设备和单片湿法设备。

公司在涂胶显影设备方面优势突出，生产的设备已经打破了国外厂商垄断，如LED芯片支撑及集成电路制造封测等环节，率先实现进口替代。公司也是国内唯 一一家研发与制造涂胶显影设备的企业。

长川科技：成立于2008年4月，于2017年4月17日在深交所创业板挂牌上市，是一家专注于集成电路装备的研发、生产和销售的高新技术企业。长川科技生产的集成电路测试机和分选机产品已获得长电科技、华天科技、通富微电、士兰微、华润微电子、日月光等集成电路厂商的使用。

未来长川科技将重点开拓探针台、数字测试机、MEMS、IGBT、SOC、晶圆制造及封装相关设备等产品。

精测电子：武汉精测电子技术股份有限公司创立于2006年4月，并于2016年11月在创业板上市。公司主要从事平板显示检测系统的研发、生产与销售，在国内平板显示测试领域处于绝对领先地位， 主营产品包括：模组检测系统、面板检测系统、OLED 检测系统、AOI光学检测系统和平板显示自动化设备。近几年来，该公司积极对外投资，设立多家子公司，业务规模迅速扩张，进一步完善了产业布局。

凯世通：万业企业全资子公司凯世通是目前国内唯一覆盖集成电路、光伏及AMOLED离子注入机三大类设备的制造企业，其研发生产的离子注入机是半导体制造工艺中技术最为复杂的设备之一。

3月26日，北京市科学技术委员会公示了2019年度北京市科学技术奖项目评审结果，由凯世通等共同承担的“大束流离子注入机装备及工艺研发”项目成功荣膺科技进步奖一等奖。今年4月消息显示，凯世通的低能大束流集成电路离子注入机日前也已搬进杭州湾洁净室，并根据集成电路芯片客户工艺要求，进行离子注入晶圆验证阶段。而凯世通低能大束流离子注入机的迁机成功，也标志着其产品在低能和大束流等核心指标，特别是束流强度指标上，已达到或超过国外同类产品，因此可更好的降低单位成本消耗，满足国内集成电路行业实际应用。

总结：对于国产半导体设备未来的发展，业内人士表示，国内半导体设备的“黄金窗口期”已然打开。对于国产设备企业而言，能否有能力抓住市场机遇是最重要的。

纵观全球，日本和韩国半导体产业都曾迎来黄金阶段，从而带动了一批优秀的设备企业快速发展。“未来，随着全球半导体产业逐渐向中国转移，一定会诞生几家巨头企业，而国产设备厂商虽然只是产业链中很小的一个群体，但是一定是产业链中生命力最旺盛的群体，即小而有力量。”业内人士如是期许。

（编辑：555手机网）

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